¡¡ ¡¡¸ÃÏîÄ¿¿ª·¢ÁËΦ500mmÖдó¿Ú¾¶·ÇÇòÃæ¹âѧԪ¼þÎåÖáËÄÁª¶¯Êý¿ØÅ×¹â»ú´²ºÍ¹âѧ±íÃæÅ׹⹤ÒÕÈí¼þ£¬½¨Á¢ÁË·ÇÇòÃæÅ×¹â¼Ó¹¤¹¤ÒÕÊý¾Ý¿â¡£»ú´²²ÉÓÃÎÞ¼ä϶´«¶¯ ºÍ¸ß¾«¶ÈÆø¶¯ÏµÍ³¿ØÖÆ£¬±£Ö¤ÁËС¹¤¾ßÅ×¹â¹ý³ÌµÄÔËÐÐÎȶ¨ÐÔ£¬ÊµÏÖÁ˾«È·¶¨Á¿¼Ó¹¤¡£¸Ã³É¹û¿ÉÓÃÓÚ·½ÐζԽÇÏß≤650mm¡¢Ô²ÐÎ≤Φ500mm·ÇÇòÃæ¹âѧԪ¼þ Å×¹â¼Ó¹¤¡£¼Ó¹¤ÃæÐξ«¶È£ºPVÖµ≤λ/5£¬¾ù·½¸ùÖµ≤λ/30£»±íÃæ´Ö²Ú¶ÈRq≤1.2nm£»¼Ó¹¤Ð§Âʱȴ«Í³Å׹ⷽ·¨Ìá¸ß3¡«5±¶¡£¸ÃÏîÄ¿ÕûÌå¼¼Êõˮƽ´¦ ÓÚ¹úÄÚÁìÏÈ£¬ÔÚÖдó³ß´ç·ÇÇòÃæ¹âѧԪ¼þÊý¿ØÅ׹⹤ÒյŤ³Ì»¯·½Ãæ´ïµ½¹ú¼ÊÏȽøË®Æ½¡£
