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  • 2007-09-13 13:01:16光微影術 (Optical Lithography)
  • 隨著科技的進步,微電子工業的製造技術一日千里,其中微影技術扮演著最重要的角色之一。 只要關於圖形上的定義(patterning),皆需要使用微影技術,本文將對一般最常使用的光學微影技術(Optical Lithography)作一簡單的介紹。 所謂的光微影術,簡單的說就是希望將設... [阅读全文]
  • 来源:NCHC奈米科學研究小組作者:蘇俊鐘点击:206评论:0
  • 2007-05-04 05:12:01光学冷加工工艺和设备现状及其发展
  • ▲ 一、历史的回顾 我国光学仪器的加工技术,虽然有较长历史但形成批量生产并具有完整的工艺是在新中国成立后。光学冷加工工艺在解放前虽然已有所采用,但缺乏完整性。解放后经过光学行业各方面人士及职工的努力,方逐步形成了较完善的加工方法。 五十年代初期,光学行... [阅读全文]
  • 来源:作者:点击:150评论:0
  • 2007-05-04 05:10:55真空技术的发展与展望
  • 众所周知,20世纪,真空工业的发展极为显著,引起各界的关注。真空科学与技术在科学研究中只是一门实验技术,而在现代工业生产中却成了一门基本技术而得到广泛应用。 真空工业的如此发展,是否归究于技术方面的重大发明或发现呢?根本不是。全世界真空工业发展的原因只... [阅读全文]
  • 来源:作者:点击:55评论:0
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